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光氧等离子复合废气处理设备综合采用了等离子废气净化器和紫外光触媒除臭废气净化器两种设备的优点组合而成，利用等离子分解技术和UV紫外光解技术结合，对废气和臭气进行协同净化处理。

光氧催化废气处理设备光氧除臭净化器H2S,VOC类、苯、甲苯、二甲苯的分子链结构，使或无机高分子恶臭化合物的分子链在紫外线的光束的照射下降解转变成低分子化合物，如CO2和H2O等。

UV光氧催化除臭净化器一般情况需要装置在通风情况比较好的地方，而且还要在有光源的状况下进行运用，这样才能够让设备内部的催化剂能够与光源中的紫外线进行触摸，生成具有氧化作用的臭氧物质，这样关于废气能够达到比较抱负的氧化处理作用。